微机械非制冷红外热电堆探测器

被引：3

作者：

蔡小五

马斌

梁平治

机构：

[1] 中国科学院上海技术物理研究所

[2] 中国科学院上海技术物理研究所上海

[3] 上海

来源：

红外技术 | 2005年 / 01期

关键词：

热电堆; 红外; 微电子机械系统; 热电材料;

D O I：

暂无

中图分类号：

TL81 [辐射探测技术和仪器仪表];

学科分类号：

082704 ;

摘要：

近年来,非制冷红外探测器应用和开发一直是令人关注的焦点之一,详细介绍了几种现阶段流行的非制冷热电堆探测器的工艺制作方法以及所用材料,并介绍了近几年来热电堆探测器的发展情况。

引用

页码：34 / 38

页数：5

共 8 条

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