积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用附视频

被引：7

作者：

郭立萍 ^{[1
]}

黄惠杰 ^{[1
]}

王向朝 ^{[2
]}

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室

[2] 中国科学院研究生院

来源：

光子学报 | 2006年 / 07期

关键词：

光刻; 照明均匀性; 非序列光学元件; 积分棒;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN405 [制造工艺];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理,介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用·分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝面上光强分布的影响,得到了积分棒尺寸与刀口狭缝面上照明视场的关系,为步进扫描投影光刻系统中积分棒的设计提供了依据·

引用

页码：981 / 985

页数：5

共 5 条

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