微透镜阵列与针孔阵列合成的微光学器件的研制

被引：1

作者：

王昭

孔兵

谭玉山

机构：

[1] 西安交通大学机械学院激光与红外技术应用研究所

来源：

光电工程 | 2001年 / 06期

关键词：

微型光学元件; 微透镜阵列; 共焦测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN256 [集成光学器件];

学科分类号：

摘要：

给出了用于并行共焦显微镜中的微光学阵列器件的制作工艺。特别设计了微透镜阵列与针孔阵列对准粘接的机械和观察系统。实验证明该系统是简易可行的,并给出了实验结果。

引用

页码：17 / 19+47 +47

页数：4

共 5 条

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