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- [2] Low-temperature oxidation of silicon by O-2 cluster ion beams [J]. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 1996, 35 (2B): : 1450 - 1453
- [3] AKIZUKI M, IN PRESS NUCL INSTRU
- [4] STRAHLEN AUS KONDENSIERTEN ATOMEN UND MOLEKELN IM HOCHVAKUUM [J]. ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK, 1956, 146 (03): : 333 - 338
- [5] STRAHLEN AUS KONDENSIERTEM WASSERSTOFF, KONDENSIERTEM HELIUM UND KONDENSIERTEM STICKSTOFF IM HOCHVAKUUM [J]. ZEITSCHRIFT FUR NATURFORSCHUNG PART A-ASTROPHYSIK PHYSIK UND PHYSIKALISCHE CHEMIE, 1962, A 17 (05): : 432 - &
- [6] Falter H., 1970, INT J MASS SPECTROM, V4, P145
- [8] HAGENA OF, 1974, MOL BEAMS LOW DENSIT, P137
- [10] Sputtering with gas cluster-ion beams [J]. SURFACE REVIEW AND LETTERS, 1996, 3 (01) : 1017 - 1021