A MODELING TECHNIQUE FOR CHARACTERIZING ION-IMPLANTED MATERIAL USING C-V AND DLTS DATA

被引:12
作者
GOLIO, JM
TREW, RJ
MARACAS, GN
LEFEVRE, H
机构
关键词
D O I
10.1016/0038-1101(84)90170-9
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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页码:367 / 373
页数:7
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