TWO-DIMENSIONAL NATURE OF DIFFUSED LAYERS AND CERTAIN LIMITATIONS IN SCALING-DOWN COPLANAR STRUCTURE

被引:6
作者
IWAI, H [1 ]
TANIGUCHI, K [1 ]
KONAKA, M [1 ]
MAEDA, S [1 ]
NISHI, Y [1 ]
机构
[1] TOSHIBA CORP,CTR RES & DEV,KAWASAKI 210,JAPAN
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1982.20754
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:625 / 630
页数:6
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