CHARGED-PARTICLE ACTIVATION-ANALYSIS - STUDIES ON CARBON, NITROGEN AND OXYGEN MAINLY IN SEMICONDUCTOR SILICON

被引:8
作者
NOZAKI, T
YATSURUGI, Y
ENDO, Y
机构
[1] INST PHYS & CHEM RES,WAKO,SAITAMA,JAPAN
[2] KOMATSU ELECTR MET CO,SHINOMIYA,HIRATSUKA,JAPAN
来源
JOURNAL OF RADIOANALYTICAL CHEMISTRY | 1976年 / 32卷 / 01期
关键词
D O I
10.1007/BF02517739
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
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