CONCENTRATION, SOLUBILITY, AND EQUILIBRIUM DISTRIBUTION COEFFICIENT OF NITROGEN AND OXYGEN IN SEMICONDUCTOR SILICON

被引:224
作者
YATSURUGI, Y
AKIYAMA, N
ENDO, Y
NOZAKI, T
机构
[1] KOMATSU ELECTR MET CO, HIRATSUKA, JAPAN
[2] INST PHYS & CHEM RES, WAKO, SAITAMA, JAPAN
关键词
D O I
10.1149/1.2403610
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:975 / 979
页数:5
相关论文
共 24 条