PHOSPHORUS DIFFUSION USING SPIN-ON PHOSPHOSILICATE-GLASS SOURCE AND HALOGEN LAMPS

被引：11

作者：

KATO, J

ONO, Y

机构：

[1] Suwa Seikosha Co, Fujimi Plant,, Fujimi-Machi, Jpn, Suwa Seikosha Co, Fujimi Plant, Fujimi-Machi, Jpn

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2114201

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1730 / 1732

页数：3

共 16 条

NISHIYAMA, K ;

ARAI, M ;

WATANABE, N .

[12]

PROCTOR SJ, 1983, IEEE T ELECTRON DEVI, V30

[13] SHORT-TIME ANNEALING [J].

SEDGWICK, TO .

[14]

SZE SM, 1981, PHYSICS SEMICONDUCTO, P32

YOSHIDA, M ;

ARAI, E ;

NAKAMURA, H ;

TERUNUMA, Y .

YU, AYC .