ELECTRON-BEAM RESISTS FROM LANGMUIR-BLODGETT-FILMS OF POLY(STYRENE MALEIC-ANHYDRIDE) DERIVATIVES

被引:30
作者
JONES, R [1 ]
WINTER, CS [1 ]
TREDGOLD, RH [1 ]
HODGE, P [1 ]
HOORFAR, A [1 ]
机构
[1] UNIV LANCASTER,DEPT CHEM,LANCASTER LA1 4YA,ENGLAND
关键词
D O I
10.1016/0032-3861(87)90001-2
中图分类号
O63 [高分子化学(高聚物)];
学科分类号
070305 ; 080501 ; 081704 ;
摘要
引用
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页码:1619 / 1626
页数:8
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