ELECTROREFLECTANCE OF SI-MOS

被引:17
作者
MISAWA, K [1 ]
MORITANI, A [1 ]
NAKAI, J [1 ]
机构
[1] OSAKA UNIV, FAC ENGN, DEPT ELECTR, SUITA 565, OSAKA, JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.15.1309
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1309 / 1316
页数:8
相关论文
共 24 条