DEFECT-FREE NUCLEATION OF SILICON ON [111] SILICON SURFACES

被引:33
作者
SHIMBO, M
NISHIZAWA, J
TERASAKI, T
机构
[1] TOHOKU UNIV, RES INST ELECT COMMUN, SENDAI, JAPAN
[2] SEMICOND RES INST, SENDAI, JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(74)90068-2
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页数:8
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