A SCALEABLE TECHNIQUE FOR THE MEASUREMENT OF INTRINSIC MOS CAPACITANCE WITH ATTO-FARAD RESOLUTION

被引:13
作者
IWAI, H [1 ]
ORISTIAN, JE [1 ]
WALKER, JT [1 ]
DUTTON, RW [1 ]
机构
[1] STANFORD UNIV, INTEGRATED CIRCUITS LAB, STANFORD, CA 94305 USA
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1985.21948
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:344 / 356
页数:13
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