INTRINSIC STRESS IN CHROMIUM THIN-FILMS MEASURED BY A NOVEL METHOD

被引:35
作者
JANDA, M
STEFAN, O
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(84)90490-5
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:127 / 137
页数:11
相关论文
共 19 条