VACUUM TECHNOLOGIES APPLIED TO ELECTRONIC-COMPONENT FABRICATION

被引:6
作者
CURRAN, JE [1 ]
机构
[1] MULLARD RES LABS,REDHILL RH1 5HA,SURREY,ENGLAND
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.569097
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:108 / 113
页数:6
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