TUNGSTEN METAL-FILM FORMED BY SPIN-COATING AMORPHOUS PEROXOPOLYTUNGSTIC ACID

被引:7
作者
OKAMOTO, H
ISHIKAWA, A
机构
关键词
D O I
10.1063/1.102332
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1923 / 1925
页数:3
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