EFFECT OF N-2-AR MIXING ON THE REACTIVE SPUTTERING CHARACTERISTICS OF SILICON

被引:45
作者
SERIKAWA, T
OKAMOTO, A
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(83)90487-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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