EFFECT OF IMPURITIES ON ANNEALING BEHAVIOR OF IRRADIATED SILICON

被引:50
作者
HIRATA, M
HIRATA, M
SAITO, H
CRAWFORD, JH
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1709922
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2433 / &
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