IMPROVED SURFACE MORPHOLOGY OF ALGAAS-GAAS HETEROEPITAXIAL WAFERS BY MAGNESIUM DOPING

被引:6
作者
FUKUI, T [1 ]
WAKITA, K [1 ]
HORIKOSHI, Y [1 ]
FURUKAWA, Y [1 ]
机构
[1] NIPPON TELEG & TELE PUBL CORP,MUSASHINO ELECT COMMUN LAB,MUSASHINO,TOKYO,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.15.2005
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2005 / 2006
页数:2
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