BAFFLE-FREE REFRACTORY DIMER ARSENIC SOURCE FOR MOLECULAR-BEAM EPITAXY

被引:13
作者
MATTORD, TJ
KESAN, VP
CROOK, GE
BLOCK, TR
CAMPBELL, AC
NEIKIRK, DP
STREETMAN, BG
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.584427
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1667 / 1670
页数:4
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