2ND-GENERATION 12L-MTL - 20-NS PROCESS-STRUCTURE

被引:31
作者
HERMAN, JM [1 ]
EVANS, SA [1 ]
SLOAN, BJ [1 ]
机构
[1] TEXAS INSTR INC,SEMICOND RES & ENGN LABS,DALLAS,TX 75222
关键词
D O I
10.1109/JSSC.1977.1050854
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:9
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