PHYSICAL AND ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF A SILO ISOLATION STRUCTURE

被引:14
作者
DEROUXDAUHPHIN, P [1 ]
GONCHOND, JP [1 ]
机构
[1] CTR NATL ETUD TELECOMMUN,CTR NORBERT SEGARD,F-38243 MEYLAN,FRANCE
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1985.22285
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:2392 / 2398
页数:7
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