THE INFLUENCE OF HIGH-PRESSURE OXIDATION ON BORON REDISTRIBUTION IN LOCOS STRUCTURES

被引:6
作者
DEROUXDAUPHIN, P [1 ]
GONCHOND, JP [1 ]
机构
[1] CTR NATL ETUD TELECOMMUN,CTR NORBERT SEGARD,F-38243 MEYLAN,FRANCE
关键词
D O I
10.1149/1.2115862
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:1418 / 1423
页数:6
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