USE OF MOLECULAR-BEAM EPITAXY IN RESEARCH AND DEVELOPMENT OF SELECTED HIGH-SPEED COMPOUND SEMICONDUCTOR-DEVICES

被引:7
作者
EASTMAN, LF [1 ]
机构
[1] CORNELL UNIV, NATL RES & RESOURCE FACIL SUBMICRON STRUCT, ITHACA, NY 14853 USA
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1983年 / 1卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.582514
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:131 / 134
页数:4
相关论文
共 11 条