ELECTRONIC-STRUCTURE OF DEEP SP-BONDED SUBSTITUTIONAL IMPURITIES IN SILICON

被引:56
作者
BERNHOLC, J [1 ]
LIPARI, NO [1 ]
PANTELIDES, ST [1 ]
SCHEFFLER, M [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
来源
PHYSICAL REVIEW B | 1982年 / 26卷 / 10期
关键词
D O I
10.1103/PhysRevB.26.5706
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:5706 / 5715
页数:10
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