POLYMER MATERIALS FOR MICROLITHOGRAPHY

被引:158
作者
REICHMANIS, E
THOMPSON, LF
机构
[1] AT&T Bell Lab, United States
关键词
164;
D O I
10.1021/cr00096a001
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页码:1273 / 1289
页数:17
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