EPITAXIAL-GROWTH OF HIGHLY FE-DOPED SEMI-INSULATING INP LAYERS BY N2 CARRIER GAS MIXED HYDRIDE VAPOR-PHASE EPITAXY

被引:8
作者
KURODA, N
SUGOU, S
KOIZUMI, Y
UJI, T
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(89)90269-8
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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