TRIPYRAMIDS AND ASSOCIATED DEFECTS IN EPITAXIAL SILICON LAYERS

被引:21
作者
BOOKER, GR
机构
来源
PHILOSOPHICAL MAGAZINE | 1965年 / 11卷 / 113期
关键词
D O I
10.1080/14786436508223961
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:1007 / &
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