TEMPERATURE-DEPENDENT PREFERENTIAL SPUTTERING IN COSI2 AND NBSI2

被引：2

作者：

AFFOLTER, K

HAMDI, AH

NICOLET, MA

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1985年 / 37卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00617864

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：19 / 23

页数：5

共 15 条

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