FORMATION OF BURIED COSI2 BY ION-IMPLANTATION

被引:27
作者
KOHLHOF, K [1 ]
MANTL, S [1 ]
STRITZKER, B [1 ]
JAGER, W [1 ]
机构
[1] FORSCHUNGSZENTRUM JULICH, INST FESTKORPERFORSCH, D-5170 JULICH 1, FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0169-4332(89)90540-0
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
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页码:207 / 216
页数:10
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