LASER SELECTIVE DEPOSITION OF GAAS ON SI

被引:23
作者
BEDAIR, SM
WHISNANT, JK
KARAM, NH
TISCHLER, MA
KATSUYAMA, T
机构
关键词
D O I
10.1063/1.96934
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:174 / 176
页数:3
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