PHOTO-ELECTROCHEMICAL PASSIVATION OF GAAS-SURFACES

被引:48
作者
WOODALL, JM
OELHAFEN, P
JACKSON, TN
FREEOUF, JL
PETTIT, GD
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1983年 / 1卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.582680
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:795 / 798
页数:4
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