DRIVE-LEVEL CAPACITANCE PROFILING - ITS APPLICATION TO DETERMINING GAP STATE DENSITIES IN HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON FILMS

被引:127
作者
MICHELSON, CE
GELATOS, AV
COHEN, JD
机构
关键词
D O I
10.1063/1.96129
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:412 / 414
页数:3
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