MOLECULAR-DYNAMICS SIMULATION OF CLUSTER AND ATOM DEPOSITION ON SILICON(111)

被引:75
作者
BISWAS, R
GREST, GS
SOUKOULIS, CM
机构
[1] EXXON RES & ENGN CO,CORP RES SCI LAB,ANNANDALE,NJ 08801
[2] IOWA STATE UNIV SCI & TECHNOL,US DOE,AMES LAB,AMES,IA 50011
来源
PHYSICAL REVIEW B | 1988年 / 38卷 / 12期
关键词
D O I
10.1103/PhysRevB.38.8154
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:8154 / 8162
页数:9
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