INTERFACIAL PROBLEMS IN PREPARING A-SI-H-FETS

被引:8
作者
MANOOKIAN, WZ
WILSON, JIB
机构
来源
IEE PROCEEDINGS-I COMMUNICATIONS SPEECH AND VISION | 1986年 / 133卷 / 04期
关键词
D O I
10.1049/ip-i-1.1986.0029
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:153 / 159
页数:7
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