RESIDUAL STRAINS IN HETEROEPITAXIAL III-V SEMICONDUCTOR-FILMS ON SI(100) SUBSTRATES

被引:56
作者
SUGO, M
UCHIDA, N
YAMAMOTO, A
NISHIOKA, T
YAMAGUCHI, M
机构
关键词
D O I
10.1063/1.343113
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:5
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