REVERSIBLE INTERACTION OF HYDROGEN WITH THIN-LAYERS OF THERMALLY GROWN SILICON DIOXIDE

被引:5
作者
FARE, T [1 ]
SPETZ, A [1 ]
ARMGARTH, M [1 ]
LUNDSTROM, I [1 ]
机构
[1] LINKOPING UNIV, APPL PHYS LAB, S-58183 LINKOPING, SWEDEN
关键词
D O I
10.1063/1.340326
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:5507 / 5513
页数:7
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