HIGH-PERFORMANCE ELECTRON NEGATIVE RESIST, CHLOROMETHYLATED POLYSTYRENE - A STUDY ON MOLECULAR-PARAMETERS

被引:66
作者
IMAMURA, S
TAMAMURA, T
HARADA, K
SUGAWARA, S
机构
关键词
Compendex;
D O I
10.1002/app.1982.070270313
中图分类号
O63 [高分子化学(高聚物)];
学科分类号
070305 ; 080501 ; 081704 ;
摘要
15
引用
收藏
页码:937 / 949
页数:13
相关论文
共 20 条