STUDY ON CATALYTIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION METHOD TO PREPARE HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON

被引:107
作者
MATSUMURA, H
机构
关键词
D O I
10.1063/1.343278
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4396 / 4402
页数:7
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