RUTHERFORD BACKSCATTERING AND ELLIPSOMETRY OF SELENIUM IMPLANTED INP

被引:12
作者
GILL, SS
SEALY, BJ
STEPHENS, KG
机构
关键词
D O I
10.1088/0022-3727/14/10/024
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1915 / 1922
页数:8
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