EFFECT OF BACKSCATTERED ELECTRONS ON RESOLUTION OF SCANNING AUGER MICROSCOPY

被引:34
作者
JANSSEN, AP
VENABLES, JA
机构
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(78)90011-0
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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