DIRECT WRITING OF METAL CONDUCTORS WITH NEAR-UV LIGHT

被引:72
作者
GILGEN, HH
CACOURIS, T
SHAW, PS
KRCHNAVEK, RR
OSGOOD, RM
机构
来源
APPLIED PHYSICS B-PHOTOPHYSICS AND LASER CHEMISTRY | 1987年 / 42卷 / 02期
关键词
D O I
10.1007/BF00694811
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:55 / 66
页数:12
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