ANOMALOUS LARGE GRAINS IN ALLOYED ALUMINUM THIN-FILMS .2. ELECTROMIGRATION AND DIFFUSION IN THIN-FILMS WITH VERY LARGE GRAINS

被引:50
作者
GANGULEE, A [1 ]
DHEURLE, FM [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(73)90171-5
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:227 / 236
页数:10
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