GAAS MIS STRUCTURES WITH SIO2 USING A THIN SILICON INTERLAYER

被引:72
作者
FOUNTAIN, GG
HATTANGADY, SV
VITKAVAGE, DJ
RUDDER, RA
MARKUNAS, RJ
机构
[1] Research Triangle Inst, Research, Triangle Park, NC, USA, Research Triangle Inst, Research Triangle Park, NC, USA
关键词
D O I
10.1049/el:19880771
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
SEMICONDUCTOR DEVICES, MIS
引用
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页码:1134 / 1135
页数:2
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