DEEP RADIATIVE LEVELS IN AS-GROWN AND IMPLANTED RAPID THERMAL ANNEALED INP

被引:19
作者
RAO, MV
AINA, OA
FATHIMULLA, A
THOMPSON, PE
机构
[1] BENDIX AEROSP TECHNOL CTR,COLUMBIA,MD 21045
[2] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20375
关键词
D O I
10.1063/1.341677
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2426 / 2433
页数:8
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