基于等离子体的激光调谐方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311585507.3

申请日：

2023-11-24

公开(公告)号：

CN117578164B

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

鲁巍何运孝华剑飞

申请人：

清华大学

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园1号

IPC主分类号：

H01S3/00

IPC分类号：

G02F1/35

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

李茂家;周蕾

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01S 3/00申请日:20231124
2024-05-28	授权	授权
2024-02-20	公开	公开

共 50 条

[1]

基于等离子体的激光调谐方法及系统 [P].

鲁巍 ;

何运孝 ;

华剑飞 .

中国专利 :CN117578164A ,2024-02-20

[2]

基于激光调谐等离子体共振的制备超晶格SERS基底方法 [P].

吴坚 ;

胡佑瑾 ;

白石 .

中国专利 :CN113640270A ,2021-11-12

[3]

激光泵浦等离子体光源和等离子体点燃方法 [P].

D·B·阿布拉门科 ;

R·R·盖亚索夫 ;

V·M·克里夫森 ;

A·A·拉什 ;

Y·B·基里尤金 ;

D·A·格卢什科夫 .

:CN115210849B ,2025-06-24

[4]

等离子体蚀刻方法、等离子体蚀刻装置、等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

森口尚树 .

中国专利 :CN105103274A ,2015-11-25

[5]

等离子体射流装置及等离子体切割系统 [P].

李海龙 ;

吴丹阳 ;

王彬 ;

殷勇 ;

蒙林 ;

师嘉豪 .

中国专利 :CN113068295A ,2021-07-02

[6]

等离子体发电系统 [P].

N.罗斯托克 ;

M.宾德鲍尔 ;

F.韦塞尔 ;

A.钟 ;

V.拜斯特里特斯基 ;

Y.宋 ;

M.安德森 ;

E.加拉特 ;

艾伦·文德里 .

中国专利 :CN102291925A ,2011-12-21

[7]

等离子体发电系统 [P].

N·罗斯托克 ;

M·宾德鲍尔 ;

F·韦塞尔 ;

A·钟 ;

V·拜斯特里特斯基 ;

Y·宋 ;

M·安德森 ;

E·加拉特 ;

艾伦·文德里 .

中国专利 :CN101189684A ,2008-05-28

[8]

等离子体处理晶片的方法、等离子体控制方法及反应系统 [P].

陈嘉任 ;

顾文昱 ;

吴奇颖 ;

林燕飞 ;

陈冠中 ;

陈嘉直 .

中国专利 :CN108987227B ,2018-12-11

[9]

一种提取激光等离子体轮廓的系统及方法 [P].

袁欢 ;

柯伟 ;

王小华 ;

杨爱军 ;

刘定新 ;

荣命哲 .

中国专利 :CN113358272A ,2021-09-07

[10]

等离子体设备及等离子体密度的调节方法 [P].

杨平 .

中国专利 :CN119361408B ,2025-03-21

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