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用于在处理室中处理微电子衬底的磁悬浮且旋转的卡盘
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780068808.5
申请日：
2017-11-08
公开(公告)号：
CN109923659B
公开(公告)日：
2024-03-12
发明(设计)人：
威廉·P·尹霍费尔
肖恩·穆尔
伦斯·凡埃尔森
申请人：
东京毅力科创FSI公司
申请人地址：
美国明尼苏达州
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/67
H01L21/02
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
杨铁成;杨林森
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-11 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):H01L 21/687变更事项:专利权人变更前:东京毅力科创FSI公司变更后:东京毅力科创美国制造与工程公司变更事项:国家或地区变更前:美国变更后:美国变更事项:地址变更前:美国明尼苏达州变更后:美国明尼苏达州 |
| 2024-03-12 | 授权 | 授权 |