研磨头及具备该研磨头的研磨装置和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280050902.9

申请日：

2022-04-25

公开(公告)号：

CN117729987A

公开(公告)日：

2024-03-19

发明(设计)人：

石井弘晃石井淳一

申请人：

株式会社斯库林集团

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

B24B55/06

IPC分类号：

H01L21/304 B24B7/04 B24B7/02 B24B7/00 B23Q11/00

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;刘伟志

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-19	公开	公开
2024-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 55/06申请日:20220425

共 50 条

[1]

用于面朝上式的研磨装置的研磨头、具备该研磨头的研磨装置及使用该研磨装置的研磨方法 [P].

小林贤一 ;

户川哲二 .

中国专利 :CN110000689A ,2019-07-12

[2]

研磨头和研磨装置 [P].

张亚文 ;

郭希峰 ;

张月鹏 ;

李海峰 ;

鲍苏亚 .

中国专利 :CN118596022A ,2024-09-06

[3]

研磨头和研磨处理装置 [P].

小村明夫 ;

桑野贵史 ;

富泽肇 .

日本专利 :CN119300951A ,2025-01-10

[4]

基板处理装置和研磨头 [P].

伊贺田利实 .

中国专利 :CN215588812U ,2022-01-21

[5]

研磨装置、研磨方法和研磨头 [P].

内山圭介 ;

小寺健治 .

日本专利 :CN120606325A ,2025-09-09

[6]

工件研磨用头及具备此研磨头的研磨装置 [P].

桝村寿 ;

森田幸治 ;

桥本浩昌 ;

荒川悟 ;

岸田敬实 .

中国专利 :CN101801605B ,2010-08-11

[7]

研磨头和研磨装置 [P].

内山圭介 ;

山本晓 .

日本专利 :CN120513150A ,2025-08-19

[8]

研磨头和研磨装置 [P].

冯惠敏 .

中国专利 :CN202428311U ,2012-09-12

[9]

研磨头和研磨装置 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN202088088U ,2011-12-28

[10]

一种研磨头及使用该研磨头的研磨装置 [P].

邵广海 .

中国专利 :CN203305046U ,2013-11-27

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