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研磨头和研磨处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280096622.1
申请日：
2022-10-24
公开(公告)号：
CN119300951A
公开(公告)日：
2025-01-10
发明(设计)人：
小村明夫
桑野贵史
富泽肇
申请人：
超微细技研有限公司
申请人地址：
日本东京都中央区日本桥兜町15番12号
IPC主分类号：
B24B37/30
IPC分类号：
B24B37/32
H01L21/304
代理机构：
北京高沃律师事务所 11569
代理人：
姚丽娜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-10 | 公开 | 公开 |
| 2025-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/30申请日:20221024 |