碳纳米管场效应晶体管、三维集成电路、及其制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202210895149.5
申请日
2022-07-25
公开(公告)号
CN117529118A
公开(公告)日
2024-02-06
发明(设计)人
叶术军 刘立巍 马远骁 王业亮
申请人
北京理工大学
申请人地址
100081 北京市海淀区中关村南大街5号
IPC主分类号
H10K10/46
IPC分类号
H10K85/20 H10K71/00
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
北京市 市辖区
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共 50 条
[1]
垂直碳纳米管场效应晶体管 [P]. 
古川俊治 ;
斯蒂芬·J·霍尔姆斯 ;
马克·C·哈吉 ;
戴维·V·霍拉克 ;
查尔斯·W·考伯格三世 ;
彼德·H·米切尔 ;
拉里·A·内斯比特 .
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[2]
鳍式碳纳米管场效应晶体管 [P]. 
杨湛 ;
黄栋梁 ;
陈涛 ;
刘会聪 ;
王蓬勃 ;
张略 ;
金国庆 ;
孙立宁 .
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[3]
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肖德元 .
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[4]
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[5]
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凯文·K·钱 ;
菲利普·G·科林斯 ;
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[6]
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[8]
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Z·于 ;
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[9]
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[10]
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